کاربرد
طراحی همه در یک ، ساختار هوشمند و شکل. مرحله سر و نمونه با هم طراحی شده است ، عملکرد ضد لرزش قوی. تشخیص لیزر و دستگاه تراز پروب ، تنظیم لیزر را ساده و آسان می کند. یا به طور خودکار ، برای تحقق موقعیت یابی در منطقه اسکن دقیق موقعیت یابی. ccd سیستم مشاهده برای مشاهده و موقعیت نمونه در زمان واقعی ؛ استفاده از Servomotor برای دستیابی به سیستم الکترونیکی با تمرکز خودکار CCD به عنوان ماژولار و آسان برای نگهداری و توسعه طراحی شده است. با بسیاری از حالت های کار برای توسعه بیشتر ، یکپارچه شده است.
ویژگی های کلیدی
1. مرحله اسکن سر و نمونه با هم طراحی شده است ، عملکرد ضد لرزش قوی
2. تشخیص دقیق لیزر و دستگاه تراز پروب باعث تنظیم لیزر ساده و آسان می شود.
3. Servomotor را برای هدایت نمونه به نوک به صورت دستی یا خودکار ، برای تحقق موقعیت یابی منطقه اسکن دقیق ، سازگار کنید.
4. دستگاه انتقال با دقت بالا و بزرگ ، امکان اسکن هر منطقه جالب از نمونه را فراهم می کند.
5. سیستم مشاهده نوری برای بررسی نوک و موقعیت یابی نمونه.
6. سیستم الکترونیکی به عنوان ماژولار و آسان برای نگهداری و توسعه بیشتر طراحی شده است.
7. بهار را برای جداسازی لرزش ، عملکرد ساده و خوب اتخاذ کنید.
مشخصات
| عمل | حالت تماس ، حالت اصطکاک ، | زاویه اسکن | تصادفی |
| اندازه نمونه | 90mm ، H≤20mm | حرکت نمونه | 0 ~ 20 میلی متر |
| حداکثر اسکن کردن | X/Y: 20μm ، Z: 2μm | عرض پالس نزدیک شدن به موتور | 10 ± 2ms |
| وضوح | x/y: 0.2 نانومتر ، Z: 0.05nm | سیستم نوری | بزرگنمایی: 4x ، |
| میزان اسکن | 0.6Hz ~ 4.34Hz | امتیاز داده ها | 256 × 256،512 × 512 |
| اسکن | XY: 18 بیتی D/A ، Z: 16 بیتی D/A | نوع بازخورد | بازخورد دیجیتال DSP |
| نمونه گیری داده ها | یک کانال A/D 14 بیتی و دوتایی A/D به طور همزمان به طور همزمان | ||
| اتصال رایانه | USB2.0 | نرخ نمونه برداری بازخورد | 64.0kHz |
| ویندوز | سازگار با ویندوز 98/2000/xp/7/8 | ||
استاندارد
GB/T 2985-1991
عکسهای واقعی
