1. طراحی یکپارچه میکروسکوپ متالوگرافی نوری و میکروسکوپ نیروی اتمی، توابع قدرتمند
2. دارای هر دو عملکرد تصویربرداری میکروسکوپ نوری و میکروسکوپ نیروی اتمی است که هر دو می توانند به طور همزمان بدون تأثیر بر یکدیگر کار کنند.
3. در عین حال، عملکردهای اندازه گیری دو بعدی نوری و اندازه گیری سه بعدی میکروسکوپ نیروی اتمی را دارد.
4. سر تشخیص لیزر و مرحله اسکن نمونه یکپارچه هستند، ساختار بسیار پایدار است و ضد تداخل قوی است.
5. دستگاه موقعیت یابی پروب دقیق، تنظیم تراز نقطه لیزری بسیار آسان است
6. نمونه محرک تک محور به طور خودکار به پروب به صورت عمودی نزدیک می شود، به طوری که نوک سوزن عمود بر نمونه اسکن می شود.
7. روش تغذیه سوزن هوشمند تشخیص خودکار سرامیکی پیزوالکتریک تحت فشار با موتور کنترل شده از پروب و نمونه محافظت می کند.
8. سیستم موقعیت یابی نوری با بزرگنمایی فوق العاده بالا برای دستیابی به موقعیت دقیق کاوشگر و منطقه اسکن نمونه
9. ویرایشگر کاربر تصحیح غیرخطی اسکنر یکپارچه، مشخصات نانومتری و دقت اندازه گیری بهتر از 98٪
مشخصات فنی:
| حالت عملیاتی | حالت لمسی، حالت ضربه بزنید |
| حالت اختیاری | اصطکاک/نیروی جانبی، دامنه/فاز، مغناطیسی/نیروی الکترواستاتیک |
| منحنی طیف نیرو | منحنی نیروی FZ، منحنی RMS-Z |
| محدوده اسکن XY | 50*50um، اختیاری 20*20um، 100*100um |
| محدوده اسکن Z | 5mm، اختیاری 2um، 10um |
| وضوح اسکن | افقی 0.2 نانومتر، عمودی 0.05 نانومتر |
| اندازهی نمونه | Φ≤68mm، H≤20mm |
| نمونه سفر مرحله ای | 25*25 میلی متر |
| چشمی نوری | 10X |
| هدف نوری | 5X/10X/20X/50X طرح اهداف آپوکروماتیک |
| روش نورپردازی | سیستم روشنایی LE Kohler |
| فوکوس نوری | فوکوس دستی خشن |
| دوربین | سنسور CMOS 5 مگاپیکسلی |
| نمایش دادن | صفحه نمایش صفحه تخت 10.1 اینچی با عملکرد اندازه گیری مربوط به نمودار |
| سرعت اسکن | 0.6 هرتز - 30 هرتز |
| زاویه اسکن | 0-360 درجه |
| محیط عملیاتی | سیستم عامل ویندوز XP/7/8/10 |
| رابط ارتباطی | USB2.0/3.0 |
