1. طراحی یکپارچه میکروسکوپ متالوگرافی نوری و میکروسکوپ نیروی اتمی ، توابع قدرتمند
2.IT هم میکروسکوپ نوری و هم توابع تصویربرداری میکروسکوپ نیروی اتمی دارد ، که هر دو می توانند در همان زمان بدون تأثیرگذاری به یکدیگر کار کنند
در همان زمان ، عملکرد اندازه گیری دو بعدی نوری و میکروسکوپ نیروی اتمی سه بعدی است
4. سر تشخیص لیزر و مرحله اسکن نمونه یکپارچه است ، ساختار بسیار پایدار است و ضد مداخله قوی است
5. دستگاه موقعیت یابی پروب دقیق ، تنظیم تراز لیزر بسیار آسان است
6. نمونه درایو تک محور به طور خودکار به پروب به صورت عمودی نزدیک می شود ، به طوری که نوک سوزن عمود بر نمونه اسکن می شود
7. روش تغذیه سوزن هوشمند سوزن هوشمند کنترل سرامیکی پیزوالکتریک تحت کنترل موتور کنترل شده از پروب و نمونه محافظت می کند
8. سیستم موقعیت یابی نوری بزرگنمایی فوق العاده بالا برای دستیابی به موقعیت دقیق کاوشگر و منطقه اسکن نمونه
9. ویرایشگر کاربر تصحیح غیرخطی اسکنر یکپارچه ، خصوصیات نانومتر و دقت اندازه گیری بهتر از 98 ٪
مشخصات:
حالت عملیاتی | حالت لمسی ، روی حالت ضربه بزنید |
حالت اختیاری | اصطکاک/نیروی جانبی ، دامنه/فاز ، نیروی مغناطیسی/الکترواستاتیک |
منحنی طیف نیرو | منحنی نیرو FZ ، منحنی RMS-Z |
دامنه اسکن XY | 50*50um ، اختیاری 20*20um ، 100*100um |
دامنه اسکن Z | 5um ، اختیاری 2um ، 10um |
وضوح اسکن | 0.2 نانومتر افقی ، عمودی 0.05 نیوتن متر |
اندازه نمونه | φ≤68mm ، h≤20mm |
نمونه سفر مرحله | 25*25 میلی متر |
چشم نوری | 10x |
هدف نوری | 5x/10x/20x/50x برنامه اهداف apochromatic |
روش روشنایی | سیستم روشنایی Le Kohler |
تمرکز نوری | تمرکز دستی خشن |
دوربین | سنسور 5 مگاپیکسلی CMOS |
نمایش | صفحه نمایش پانل مسطح 10.1 اینچی با عملکرد اندازه گیری مربوط به نمودار |
سرعت اسکن | 0.6Hz-30Hz |
زاویه اسکن | 0-360 درجه |
محیط عملیاتی | ویندوز XP/7/8/10 سیستم عامل |
رابط ارتباطی | USB2.0/3.0 |